Praktika

Design und Simulation von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)

  • Design von MEMS Aktoren und Sensoren in der kommerziellen Simulationssoftware MEMS+ von Coventor
  • Untersuchung der Sensoren und Aktoren mittels Simulation
  • Vermittlung von Grundkenntnissen in der Modellierung von Mikromechanischen Bauelementen und Systemen (MEMS)

Bauelementecharakterisierung in der Mikro- und Leistungselektronik

Das Praktikum beschäftigt sich mit der messtechnischen Charakterisierung ausgewählter, typischer Halbleiterbauelemente der Leistungselektronik, Mikroelektronik und Sensorik. U.a. werden folgende Bauelemente charakterisiert:

  • Power MOSFET
  • IGBT
  • pin-Dioden
  • Massenflusssensoren
  • Solarzellen

 

Simulation und Charakterisierung von Mikrobauteilen

  • Simulation und Analyse mikromechanischer Drucksensoren (FEM-Simulationen mit ANSYS)
  • Orientierungsabhängiges Ätzen von Silizium (Prozeßsimulationen mit SIMODE/QSIMODE)
  • Simulation von pn-Übergängen ohne und mit Photogeneration (Devicesimulationen).