Praktika
Design und Simulation von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)
- Design von MEMS Aktoren und Sensoren in der kommerziellen Simulationssoftware MEMS+ von Coventor
- Untersuchung der Sensoren und Aktoren mittels Simulation
- Vermittlung von Grundkenntnissen in der Modellierung von Mikromechanischen Bauelementen und Systemen (MEMS)
Bauelementecharakterisierung in der Mikro- und Leistungselektronik
Das Praktikum beschäftigt sich mit der messtechnischen Charakterisierung ausgewählter, typischer Halbleiterbauelemente der Leistungselektronik, Mikroelektronik und Sensorik. U.a. werden folgende Bauelemente charakterisiert:
- Power MOSFET
- IGBT
- pin-Dioden
- Massenflusssensoren
- Solarzellen
Simulation und Charakterisierung von Mikrobauteilen
- Simulation und Analyse mikromechanischer Drucksensoren (FEM-Simulationen mit ANSYS)
- Orientierungsabhängiges Ätzen von Silizium (Prozeßsimulationen mit SIMODE/QSIMODE)
- Simulation von pn-Übergängen ohne und mit Photogeneration (Devicesimulationen).