Ausstattung
Meßplätze
Meßplatz zur Charakterisierung von MEMS (basierend auf Weißlichtinterferometrie)
- Weißlichtinterferometer
- Typ: Veeco WYKO NT 1100 DMEMS
- Statische und dynamische Topographiemessung
- Druckkammermeßsystem
- Impedanzanalysator
- Anregung mittels Hochspannungsfunktionsgenerator
Meßplatz zur Charakterisierung von MEMS (basierend auf Laservibrometrie)
- Scanning Vibrometer
- Typ: Polytec MSA-500
- Dynamische Messung
- Druckkammermeßsystem
- Anregung mittels Hochspannungsfunktionsgenerator
- Anregung mittels Piezoschwinger
Hochtemperaturmeßplatz
- Messaufbau zur Charakterisierung von Halbleitern bei hohen Temperaturen im Vakuum
Optikmeßplatz zur Charakterisierung von Wide-Bandgap Halbleitern
- Meßaufbau zur elektrothermischen Charakterisierung von SiC-Bauelementen
- Schwingungsgedämpfter Optiktisch
- Verschiedene Halbleiterlaser
- Meßequipment: Strompulser, Oszilloskope, Halbleiterdetektoren
Software und HPC
Der Lehrstuhl verfügt über ein leistungsfähiges Rechnernetzwerk in dem den Benutzern unter anderem folgende Softwarepakete zur Verfügung gestellt werden:
- Matlab
- Comsol
- Ansys
- MEMS+
- Synopsis
- Cadence