Willkommen auf der Webseite der Professur für Mikrosensorik und -aktorik!

Das Internet der Dinge, cyber-physikalische Systeme, Industrie 4.0, smarte Sensorsysteme, autonome Sensorknoten, „grüne Energie“ und E-Mobilität – diese Themen sind eng mit den Herausforderungen unseres heutigen globalen Lebens verwoben und haben eines gemeinsam: díe Basis all dieser Systeme bilden mikrostrukturierte Bauelemente und Systeme.

 

Aufgrund fortschreitender Reife der Herstellungsprozesse und Integration von Bauelementen, kleiner werdender Abmessungen und wachsender Komplexität solcher Bauelemente und Systeme, wachsen die Herausforderungen, die an deren Entwurf, die Entwicklung und die Optimierung gestellt werden. Gleichzeitig steigen die Anforderungen an die Zuverlässigkeit solcher Systeme im Betrieb. In diesem Umfeld und zusammen mit Partnern aus Industrie und Forschung arbeiten wir an Lösungen im Bereich von

• Entwurf und Optimierung von neuartigen Sensoren, Aktoren und Mikrosysteme in unterschiedlichen Anwendungsfeldern
• Methoden zur effizienten, zuverlässigen und prädiktiven Modellierung von mikrostrukturierten Bauelementen im Bereich der Mikrosystemtechnik sowie der Mikro- und Leistungselektronik Zuverlässigkeit und Robustheit von mikrostrukturierten mechatronischen Komponenten und Leistungsbauelementen
• Experimentelle Charakterisierung, Modellvalidierung und Parameterextraktion für MEMS, NEMS und Leistungsbauelemente

Detaillierte Informationen über unsere Forschungsthemen und der damit verbundenen Lehrveranstaltungen finden Sie auf unserer Webseite.